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化学式H2SiF6。无水氟硅酸为无色气体。有毒,强烈腐蚀皮肤。不稳定,常温下易分解为四氟化硅和氟化氢。水溶液为强酸。浓溶液冷却时,析出无色含水氟硅酸。由四氟化硅(SiF4)和氟化氢(HF)反应而得。用作消毒剂,也用于金属电镀、木材防腐等。