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分离气体混合物的一种特殊方法。利用气体单个分子穿过细孔的现象而行分离。如为多孔的器壁,而细孔的大小只容许分子单独通过,则轻分子穿过细孔的机会必较重分子为多。扩散结果是器内的轻分子相对地减少,并富集于器外;留存于器内的重分子浓度增高,因此可得到一定程度的分离。此法主要用以分离同位素。对相对分子质量相差极微的混合气体,如铀-238和铀-235的六氟化物,必须将此法连续进行极多次数,方能达到所需的分离程度。