隋开皇十六年 (596) 置，治所在安平县 (今河北安平县)。《元和志》 卷17深州： “以州西故深城为名。” 大业初废。唐武德四年 (621) 复置，仍治安平县，同年移治饶阳县 (今饶阳县)。贞观十七年 (643) 废。先天二年 (713) 复置，治所在陆泽县 (今深州市西旧州村)。辖境相当今河北深州、安平、饶阳、辛集等县市地。天宝元年 (742)改为饶阳郡。乾元元年 (759) 复为深州。北宋雍熙四年 (987) 迁治静安县 (今深州市南)。元属真定路，辖境缩小。明初省静安县入州。永乐十年(1412) 移治今深州市，属真定府。清升为直隶州。辖境相当今深州、安平、饶阳、武强等县市地。1913年改为深县。

隋开皇十六年(596年)置，以故深城为名，治安平县(今属河北)。大业二年(606年)省。唐武德四年(621年)析定州、瀛州地复置，仍治安平县，同年徙治饶阳县(今属河北)。贞观十七年(643年)又省。先天二年(713年)分瀛、冀、定三州地复置，治陆泽县(即今深州西南旧州)，辖境相当今河北省深州、安平、饶阳、辛集等市县地。北宋雍熙四年(987年)徙治静安县(今深州市南)。南宋嘉定八年(1215年)，周元儿领导红袄军在此战败金兵，攻克州城。元辖境缩小，仅有今深州、衡水二市地。明永乐十年(1412年)省静安入州，徙治今深州市。清雍正二年(1724年)升直隶州，辖境相当今深州、安平、饶阳、武强等县地。1913年省州改为深县。